真空炉常用的几种真空系统

点击次数:   更新时间:17/04/06 14:07:04     来源:www.wfzhenkonglu.com关闭分    享:
  真空炉在温度测控精度提高的基础上,工件移动、气压调节、功率调节等均可预先编程设定,按步骤实施淬火和回火。真空炉品种多,对真空系统的要求不一样。就真空度而言,有低真空、中真空和高真空系统。下面就介绍几种常用的真空系统:
  1、低真空系统
  它适用于真空度在1333~2Pa范围的真空热处理炉,如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵的系统。
  2、中真空系统
  它适用于真空度在1.333~3×10Pa范围的真空热处理炉。中真空系统在真空热处理炉中应用最广泛,其通常有两级真空泵机组组成。初级泵多采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。
  3、高真空系统
  它适用于真空度在1.333×1O~6.6×10Pa范围的真空热处理炉,如真空退火炉、真空钎焊炉。其通常有三级真空泵机组组成,主泵通常采用油扩散泵、离子泵,初级泵大都也是采用旋转机械泵或滑阀式机械泵,前级泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。